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    半自动FOUP清洗机
    FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒SMIF、FOUP、FOSB 、Cassette等，可实现无与伦比的清洗和干燥效果。
    将FOUP、FOSB安装并固定在清洗室内的中心转轴上，进行360° 正反转动，由DI Water进行高压冲洗。高压冲洗产生的机械力，降低FOUP、FOSB接触面的表面张力，将Particle及金属离子清洗去除，离心＋热风进行烘干，高效率、高质量完成FOUP的清洗。
    支持SECS/GEM200/300 .
    符合SEMI S2、CE半导体制造标准及认证.
    半自动FOUP清洗机
    产品特点
    01
    多达十段清洗工艺流程设定，制程窗口更宽
    02
    含有自动执行状态显示，快速检视设备运行状态及工作时间
    03
    扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低人为失误导致设备损坏
    04
    主轴由伺服系统控制，稳定加减速及转速，数值可控
    05
    操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷,人性化设计
    06
    旋转式离心清洗,正反旋转速度可调，更易清除产品表面残留污染物
    07
    IR烘烤加速干燥时间，无任何水份残留
    08
    采用一流体(二流体选项)的清洗模式，能有效去除微小的污染物
    应用范围
    技术参数
    设备尺寸
    1780mm(L)x 1870mm(W) x 2550mm(H)(含脚杯+排气口高度）仅供参考
    旋转夹具
    按客户产品定制(Max12寸FOUP/FOSB 8寸/ Cassette)
    产品数量
    8pcs/批次（12寸 FOUP)/16pcs/批次（8寸Cassette)
    主轴转速
    Max200rpm(自定义)
    主轴旋转方式
    正转/反转
    电源供应
    三相五线AC380V 50Hz 85A(不含外置液箱)
    噪音
    <80db
    总功率
    MAX约33KW(不含外置液箱)
    设备净重
    约1000Kg
    主要材质
    机身：SUS304
    管路：PFA
    CDA/N2
    压力:0.45-0.7Mpa φ12 PU管
    DIW
    流量:5-60L/min，压力:大于0.3Mpa
    排气口
    数量：2×Φ152mm
    流量≈15m³/min
    由客户提供抽风系统
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